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WAFER ID READER

High-Speed & High-Accuracy Reading

빠르고 정확한 Wafer ID 판독

혁신적인 RGB 조명과 자동 노출 제어 기술을 적용하여 다양한 공정 환경에서도 높은 판독률과 안정적인 Wafer ID 판독 성능으로 빠른 처리 속도를 제공합니다.

Multi-Code Recognition

다양한 코드 형식 지원

OCR, Barcode, DataMatrix, QR Code를 하나의 장비에서 지원하여 다양한 웨이퍼 마킹을 안정적으로 인식합니다.

Easy Integration & Smart Operation

간편한 시스템 연동과 운영

직관적인 GUI와 Teach-in Wizard를 통해 손쉽게 설정할 수 있으며, 다양한 반도체 장비와 빠르게 연동할 수 있습니다.

항목	사양
지원 마크 타입	SEMI M12, M13, M1.15, SEMI T1.95
OCR 폰트	SEMI Font (직선형, 오목형, 볼록형), Non-SEMI Fonts
2D 코드 지원	ECC200, T7 Data Matrix, QR Code, M1.15
바코드 지원	BC412, IBM412, IBM & SEMI T1-95, Base 35
관심 영역(ROI)	자동 ROI(Region of Interest) 검출 지원

항목	사양
시야각(Field of View)	35 × 13 mm 초광각 시야
LED 조명	멀티채널 RGB (Red / Green / Blue)Blue: 440~480nmGreen: 500~555nmRed: 620~650nm
지원 대상	OCR Font, Data Matrix, T7, QR Code, Barcode (모든 웨이퍼 표면 지원)
조명 모드	내부 조명 15종 + 외부 RGB 조명 3채널 추가 지원
조명 밝기 제어	자동 노출 제어(Auto Exposure) 지원Dynamic Range 1:10,000
렌즈	독일산 비구면(Aspheric) 렌즈 및 Bandwidth Pass Filter 적용
초점 심도(Depth of Focus)	±4 mm

항목	사양
네트워크	10/100Base-T Ethernet ×1, TCP/IP 지원
시리얼 통신	RS-232C
지원 프로토콜	C Library, LKx5 Protocol, TEL Protocol, TSK Protocol, EG Protocol 및 사용자 정의(Custom) 프로토콜
디지털 입·출력	Input 2채널 / Output 2채널
상태 표시	LED Status, Power LED
Master / Slave 기능	웨이퍼 전면(Front) 및 후면(Backside) 자동 판독 지원
데이터베이스 기능	판독 결과의 검증(Cross-check) 및 데이터 처리(Manipulation)를 위한 데이터베이스 직접 연결 지원

항목	사양
인증 규격	CE, RoHS, FCC